智能氣體監控系統
供氣的穩定性是影響半導體良率的關鍵
模組亮點
- 高穩定度壓力調控
- 即時異常偵測
- 應用範圍的廣泛
- 具備 SCADA 整合能力
氣源供應監控焦點
- 資料擷取：PC-based的運算主機與網頁伺服器架構
- IO-Link 至 Fieldbus 轉換可實現感測器與控制系統間的無縫通訊，提升整合效率。
- 資料即時回傳，異常即刻通報，守護系統穩定性。
精控氣源，優化製程
- 智慧儀表板：即時監控 + 趨勢圖表 + 異常通報，一站式整合。
- 即時掌握氣源供應異常區段，提升維運效率。
- 故障狀態視覺化追蹤，搭配指標與報表呈現，強化監控能力。
即早偵錯，穩定品質，優化成本
- 透過智慧監控與成本精控，即早偵錯、防止缺陷擴散，全面提升製程穩定性與品質效益。
- 即時洞察強化製程防護，精準導入品質資源，提升整體投資效益。
應用場域
穩定壓力搭配靈敏流量反應，支援高精度製程與關鍵環境需求。
